NE-PE10小型真空等离子体表面处理仪
产品分类:小型等离子体表面处理仪
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发布时间:2022-03-16 11:27:58
产品简介:NE-PE10是一款小型真空等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量···
产品详情 | PRODUCT DETAILS
NE-PE10是一款小型真空等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。装置的运行过程如下:将要被清洗的工件送人真空室并加以固定,启动运行装.置,开始排气使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准.真空度。向真空室内引入等离子清洗用的气体并使其压力保持在100Pao根据清洗的材质不同可分别选用氧气、氢气、氯气1或氮气等气体。在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿并通过辉光放电而发生离子化和产生出等离子体。让在真空室产生的等离子体把被处理工件完全笼罩住并开始清洗,一般清洗处理持续几十秒到几分钟。清洗完毕后切断高频电压并将气体及气化的污垢排出,同时向真空室内鼓人空气并将气压升至--一个大气压。
NE-PE10等离子体表面处理仪功能特点:
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•双层托盘设计,可调节托盘间距
•8K 镜面不锈钢腔体,卓越密封性
•可支持 13.56 MHz 射频发生器,与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)
•直观的触摸屏,过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的电子质量流量控制器的最佳气体控制,有两个额外控制器的选择 (最大 4 个)
等离子体表面处理仪产品参数:
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配,远程通信控制 | ||
频率 | 13.56MHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢,军工级密封 |
腔体容积 | 10L | ||
电极数量 | 2个镀金铝合金专用电极 | ||
电极间距 | 50mm | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器, 0-500ML |
气路数量 | 最小 2 路气体,支持氧气,氩气,氮 气,氢气,四氟化碳等 | ||
4 | 放电电极架 | 内置水平式电极 | 200(W)×200(D)mm |
载物托盘 | L*W :200(W)×200(D)mm | ||
5 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 长*宽*高 : 550mm(L)×550mm(W) ×650 mm(H) |