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NE-PE05小型等离子体表面处理仪

产品分类:等离子体表面处理仪

关注度:1707

发布时间:2022-03-16 11:19:13

产品简介:产品简介:NE-PE05 是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位···

产品详情 | PRODUCT DETAILS

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NE-PE05是一款小型真空等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打 样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于 1-2 Pa 的真空压强,同时根据客户工 艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入 的工艺气体产生等离子体,并 确保稳定产生高密度,高能量 的离子。等离子体与材料发生 复杂的物理,化学反应,可以 实现不同的工艺功能,比如清 洗,活化,刻蚀与涂敷等。等 离子态显著的特点是高均匀性 辉光放电,根据不同气体发出 从蓝色到深紫色的色彩可见光。

等离子体表面处理仪功能特点:

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置 

•双层托盘设计,可调节托盘间距

•8K 镜面不锈钢腔体,卓越密封性 

•可支持 13.56 MHz 射频发生器,与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)

•直观的触摸屏,过程参数实时监控。 

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求 

•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体 

•通过联锁门或可移动的板 

•两个标准的电子质量流量控制器的最佳气体控制,有两个额外控制器的选择 (最大 4 个)

等离子体表面处理仪产品参数:

序号项目型号规格参数
1等离子发生器
功率0-300W可调
抗辐射干扰高频匹配器自动阻抗匹配,远程通信控制
频率40KHz 
2
真空反应腔室腔体材质进口 316 不锈钢,军工级密封
腔体容积5L
电极数量1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘
腔体直径(圆形)150(W)×280(D)mm
有效处理范围130(W)*245(D)mm
绝缘陶瓷进口高频陶瓷
3气路控制
气体流量控制器浮子针阀流量控制器, 0-500ML
气路数量最小 2 路气体,支持氧气,氩气,氮 气,氢气,四氟化碳等
4整机参数
整机功率1000W
外形尺寸长*宽*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

等离子体表面处理仪产品应用:

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