NE-PE05小型等离子体表面处理仪

NE-PE05是一款小型真空等离子体表面处理仪，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打 样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于 1-2 Pa 的真空压强，同时根据客户工 艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入 的工艺气体产生等离子体，并 确保稳定产生高密度，高能量 的离子。等离子体与材料发生 复杂的物理，化学反应，可以 实现不同的工艺功能，比如清 洗，活化，刻蚀与涂敷等。等 离子态显著的特点是高均匀性 辉光放电，根据不同气体发出 从蓝色到深紫色的色彩可见光。

等离子体表面处理仪功能特点：

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置 

•双层托盘设计，可调节托盘间距

•8K 镜面不锈钢腔体，卓越密封性 

•可支持 13.56 MHz 射频发生器，与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)

•直观的触摸屏，过程参数实时监控。 

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求 

•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体 

•通过联锁门或可移动的板 

•两个标准的电子质量流量控制器的最佳气体控制，有两个额外控制器的选择 (最大 4 个)

等离子体表面处理仪产品参数：

等离子体表面处理仪产品应用：