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离子溅射仪NE-900

产品分类:磁控溅射镀膜仪

关注度:769

发布时间:2022-05-17 14:20:31

产品简介:离子溅射仪NE-900依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作···

产品详情 | PRODUCT DETAILS

离子溅射仪NE-900依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自 动控制电路控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体。根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层均匀纯净。


产品参数:

型号离子溅射仪NE-900
主机规格300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部电极)50mm×0.1mm(D×H)
靶材Au(标配)
样品室硼硅酸盐玻璃 160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸Ф 50mm
真空指示表最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
离子电流表最大电流:50mA
定时器最长时间:0-360S
微型真空气阀可连接φ 3mm 软管
可通入气体多种
最高电压-1600 DCV
机械泵标准配置 2L/S(国产 VRD-8)


离子溅射仪NE-900产品特点:

1、简单、经济、可靠、外观精美。
2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。
3、SETPLASMA 手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。
4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。
5、同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、铱、银、铜等),以达到更细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。